產品介紹
超音波乾式清洗設備


超音波振動使微粒子自製品表面剝離,達到除去效果
●去除率高達 95% 以上(3 µm標準粒子)
●有效清潔產品表面,提升良率效果佳
●去除率高達 95% 以上(3 µm標準粒子)
●有效清潔產品表面,提升良率效果佳
適用尺寸
●可提供不同世代面板使用
適用製程別
●適用各個需要乾式清洗之製程
●可提供不同世代面板使用
適用製程別
●適用各個需要乾式清洗之製程
超音波乾式清洗設備

超音波振動使微粒子自製品表面剝離,達到除去效果
●去除率高達 95% 以上(3 µm標準粒子)
●有效清潔產品表面,提升良率效果佳
●去除率高達 95% 以上(3 µm標準粒子)
●有效清潔產品表面,提升良率效果佳
適用尺寸
●可提供不同世代面板使用
適用製程別
●適用各個需要乾式清洗之製程
●可提供不同世代面板使用
適用製程別
●適用各個需要乾式清洗之製程
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