產品介紹
Carousel 倉儲系統
● 移載與儲存MAG/FOUP/FOSB
● N2 Purge 進行產品溫濕度管控
● 可搭接高空移載系統，配置 SEMI E84 對接功能
● 產品Q -Time 管控
● 循環式儲位功能
● 地震監控，地震強度≥5級立即停止移載
● N2 Purge 進行產品溫濕度管控
● 可搭接高空移載系統，配置 SEMI E84 對接功能
● 產品Q -Time 管控
● 循環式儲位功能
● 地震監控，地震強度≥5級立即停止移載
● 一般
機台尺寸 : W1,180 x L1,000 x H3,000 mm
機台重量 : 550 kg
機台負載 : 10 Kg
● 搬運
傳動方式 : AC馬達
回饋方式 : Sensor
重複精度 : ±0.2 mm
● 品質
ESD < 25V
設備結構認證 : 符合SEMI規範
機台尺寸 : W1,180 x L1,000 x H3,000 mm
機台重量 : 550 kg
機台負載 : 10 Kg
● 搬運
傳動方式 : AC馬達
回饋方式 : Sensor
重複精度 : ±0.2 mm
● 品質
ESD < 25V
設備結構認證 : 符合SEMI規範
Carousel 倉儲系統
● 移載與儲存MAG/FOUP/FOSB
● N2 Purge 進行產品溫濕度管控
● 可搭接高空移載系統，配置 SEMI E84 對接功能
● 產品Q -Time 管控
● 循環式儲位功能
● 地震監控，地震強度≥5級立即停止移載
● N2 Purge 進行產品溫濕度管控
● 可搭接高空移載系統，配置 SEMI E84 對接功能
● 產品Q -Time 管控
● 循環式儲位功能
● 地震監控，地震強度≥5級立即停止移載
● 一般
機台尺寸 : W1,180 x L1,000 x H3,000 mm
機台重量 : 550 kg
機台負載 : 10 Kg
● 搬運
傳動方式 : AC馬達
回饋方式 : Sensor
重複精度 : ±0.2 mm
● 品質
ESD < 25V
設備結構認證 : 符合SEMI規範
機台尺寸 : W1,180 x L1,000 x H3,000 mm
機台重量 : 550 kg
機台負載 : 10 Kg
● 搬運
傳動方式 : AC馬達
回饋方式 : Sensor
重複精度 : ±0.2 mm
● 品質
ESD < 25V
設備結構認證 : 符合SEMI規範
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