產品介紹
Macro 巨觀檢測設備


利用不同的光源(鈉燈、 LED白燈、綠燈、收束光、 LED強光燈等)來檢測玻璃瑕疵
●自動化 : 燈源照度自動點檢&警報、搭配 Robot 自動入料
●智能化 : DMAC 前站,MURA 檢出提示
●高效化 : 良率提升、特殊真空吸嘴設計、客製化 Stage
適用製程別
適用尺寸
●CF : 曝光後檢查、顯影後檢查、最終檢查
●TFT : 最終檢查
●LCD : 鍍PI模後檢、RUBBIN後檢、合板後檢查
適用尺寸
●適用G3.5 ~ G10.5 各世代面板
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●TFT : 最終檢查
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