TGV 雷射改質設備
●應用於TGV玻璃基板雷射改質
●玻璃厚度:100 um ~ 1100 um
●孔徑尺寸:10 um ~ 100 um
●位置精度: < ±5 um
●高深寬比: 1:10
●製程優勢:無微裂紋和碎裂
●孔徑尺寸:10 um ~ 100 um
●位置精度: < ±5 um
●高深寬比: 1:10
●製程優勢:無微裂紋和碎裂
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