產品介紹
>半導體相關設備 >自動光學檢測
OM CT-RDL 1000po
●高精度微觀量測系統(Micro)
●巨觀目檢取像功能(Macro)
●可行自動/手動量測
●適用Panel尺寸 : 300x300~600x600mm

●微觀光機系統
相機形式 : 彩色Area
鏡頭倍率 : 2x、5x、10x、20x、50x
像素解析度(μm/pixel) : 2.25、0.9、0.45、0.225、0.09
FOV(mm) : 4.3 x 3.2、1.7 x 1.3、0.87 x 0.65、0.43 x 0.32、0.17 x 0.13
光源 : 內同軸光源、環形光

●巨觀光機系統
相機形式 : 彩色Line Scan CCD
同軸光源取像
像素解析度(μm/pixel) : 37
FOV(mm) : 310
產品介紹>半導體相關設備>自動光學檢測
OM CT-RDL 1000po
●高精度微觀量測系統(Micro)
●巨觀目檢取像功能(Macro)
●可行自動/手動量測
●適用Panel尺寸 : 300x300~600x600mm

●微觀光機系統
相機形式 : 彩色Area
鏡頭倍率 : 2x、5x、10x、20x、50x
像素解析度(μm/pixel) : 2.25、0.9、0.45、0.225、0.09
FOV(mm) : 4.3 x 3.2、1.7 x 1.3、0.87 x 0.65、0.43 x 0.32、0.17 x 0.13
光源 : 內同軸光源、環形光

●巨觀光機系統
相機形式 : 彩色Line Scan CCD
同軸光源取像
像素解析度(μm/pixel) : 37
FOV(mm) : 310
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