產品介紹
>半導體相關設備 >雷射應用
雷射線路修補設備
●TFT-LCD所檢測所的PR open/short缺陷,使用高精度ink與laser系統搭配修補,使其恢復功能
●面板尺寸:G3.5 ~ G10.5
●PR線寬:≦5~20μm
●雷射加工線寬:≦2μm
●雷射掃描範圍:Max 100 x 100 μm @50X
●雷射自動對焦
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雷射線路修補設備
●TFT-LCD所檢測所的PR open/short缺陷,使用高精度ink與laser系統搭配修補,使其恢復功能
●面板尺寸:G3.5 ~ G10.5
●PR線寬:≦5~20μm
●雷射加工線寬:≦2μm
●雷射掃描範圍:Max 100 x 100 μm @50X
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