●極短處理時間,迅速以雷射切斷短路電路
●最小可處理尺寸 ≦ 1 μm
●背板尺寸(W*L) : 370*470 mm(G2)
●LED 尺寸 : 15~80 μm
●對位精度 : ±1.5 μm
●晶圓尺寸 : 4~8 inches
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