產品介紹
Oven 製程自動化
● 可同時派工多烤盤
● 最多一次可移載12盒Mag./盤
● 最多可3烤盤(共36盒Mag.)進烤爐
● 未滿盒MAG併批功能
● Mag.裝盤，烤盤LUL烤爐功能
● Oven手動設備可配置自動開關門功能
● 最多一次可移載12盒Mag./盤
● 最多可3烤盤(共36盒Mag.)進烤爐
● 未滿盒MAG併批功能
● Mag.裝盤，烤盤LUL烤爐功能
● Oven手動設備可配置自動開關門功能
● 一般
機台尺寸 : (W)11680 x (L)4425 x (H)2350 mm
機台重量 : 3880kg
機台負載 : 10 Kg / Mag.
● 搬運
傳動方式 : 伺服馬達；汽缸
回饋方式 : Encoder ； Sensor
重複精度 : ±0.2 mm
● 品質
ESD : < 25V
無塵等級 : 符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證 : 符合SEMI規範
機台尺寸 : (W)11680 x (L)4425 x (H)2350 mm
機台重量 : 3880kg
機台負載 : 10 Kg / Mag.
● 搬運
傳動方式 : 伺服馬達；汽缸
回饋方式 : Encoder ； Sensor
重複精度 : ±0.2 mm
● 品質
ESD : < 25V
無塵等級 : 符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證 : 符合SEMI規範
Oven 製程自動化
● 可同時派工多烤盤
● 最多一次可移載12盒Mag./盤
● 最多可3烤盤(共36盒Mag.)進烤爐
● 未滿盒MAG併批功能
● Mag.裝盤，烤盤LUL烤爐功能
● Oven手動設備可配置自動開關門功能
● 最多一次可移載12盒Mag./盤
● 最多可3烤盤(共36盒Mag.)進烤爐
● 未滿盒MAG併批功能
● Mag.裝盤，烤盤LUL烤爐功能
● Oven手動設備可配置自動開關門功能
● 一般
機台尺寸 : (W)11680 x (L)4425 x (H)2350 mm
機台重量 : 3880kg
機台負載 : 10 Kg / Mag.
● 搬運
傳動方式 : 伺服馬達；汽缸
回饋方式 : Encoder ； Sensor
重複精度 : ±0.2 mm
● 品質
ESD : < 25V
無塵等級 : 符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證 : 符合SEMI規範
機台尺寸 : (W)11680 x (L)4425 x (H)2350 mm
機台重量 : 3880kg
機台負載 : 10 Kg / Mag.
● 搬運
傳動方式 : 伺服馬達；汽缸
回饋方式 : Encoder ； Sensor
重複精度 : ±0.2 mm
● 品質
ESD : < 25V
無塵等級 : 符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證 : 符合SEMI規範
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