產品介紹
Magazine Stocker 倉儲系統
● 移載與儲存MAG
● 同時對應多尺寸 MAG 移載/儲存
● 可搭接高空移載系統，配置 SEMI E84 對接功能
● 對應高空移載系統自動FOUP LUL
● 對應 AGV進行自動FOUP LUL
● 產品Q -Time 管控
● 手臂定時/定次水平校正檢測功能
● 地震監控，地震強度 ≥ 5級立即停止移載
● 同時對應多尺寸 MAG 移載/儲存
● 可搭接高空移載系統，配置 SEMI E84 對接功能
● 對應高空移載系統自動FOUP LUL
● 對應 AGV進行自動FOUP LUL
● 產品Q -Time 管控
● 手臂定時/定次水平校正檢測功能
● 地震監控，地震強度 ≥ 5級立即停止移載
● 一般
機台尺寸：(W)2,550 x (L)7,400 x (H)2,510 mm
機台重量：1,350 kg
機台負載：10 kg
儲存能力：432 格儲位(Reject port 8格儲位 )
● 搬運
傳動方式：AC馬達
回饋方式：Sensor
重複精度：±0.2 mm
定位精度：±1 mm
● 品質
ESD：< 25V
無塵等級：符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證：符合SEMI規範
機台尺寸：(W)2,550 x (L)7,400 x (H)2,510 mm
機台重量：1,350 kg
機台負載：10 kg
儲存能力：432 格儲位(Reject port 8格儲位 )
● 搬運
傳動方式：AC馬達
回饋方式：Sensor
重複精度：±0.2 mm
定位精度：±1 mm
● 品質
ESD：< 25V
無塵等級：符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證：符合SEMI規範
Magazine Stocker 倉儲系統
● 移載與儲存MAG
● 同時對應多尺寸 MAG 移載/儲存
● 可搭接高空移載系統，配置 SEMI E84 對接功能
● 對應高空移載系統自動FOUP LUL
● 對應 AGV進行自動FOUP LUL
● 產品Q -Time 管控
● 手臂定時/定次水平校正檢測功能
● 地震監控，地震強度 ≥ 5級立即停止移載
● 同時對應多尺寸 MAG 移載/儲存
● 可搭接高空移載系統，配置 SEMI E84 對接功能
● 對應高空移載系統自動FOUP LUL
● 對應 AGV進行自動FOUP LUL
● 產品Q -Time 管控
● 手臂定時/定次水平校正檢測功能
● 地震監控，地震強度 ≥ 5級立即停止移載
● 一般
機台尺寸：(W)2,550 x (L)7,400 x (H)2,510 mm
機台重量：1,350 kg
機台負載：10 kg
儲存能力：432 格儲位(Reject port 8格儲位 )
● 搬運
傳動方式：AC馬達
回饋方式：Sensor
重複精度：±0.2 mm
定位精度：±1 mm
● 品質
ESD：< 25V
無塵等級：符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證：符合SEMI規範
機台尺寸：(W)2,550 x (L)7,400 x (H)2,510 mm
機台重量：1,350 kg
機台負載：10 kg
儲存能力：432 格儲位(Reject port 8格儲位 )
● 搬運
傳動方式：AC馬達
回饋方式：Sensor
重複精度：±0.2 mm
定位精度：±1 mm
● 品質
ESD：< 25V
無塵等級：符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證：符合SEMI規範
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