產品介紹
N2 Wafer Stocker 倉儲系統


● 人車分道
● 串接AMHS系統,可即時自動盤點
● 管控氧氣與氮氣環境
● 產品與梭車同步搬運
● 符合 SEMI S2/S8/S10 標準
● 地震監控,地震強度 ≥4 級立即停止移載
● 串接AMHS系統,可即時自動盤點
● 管控氧氣與氮氣環境
● 產品與梭車同步搬運
● 符合 SEMI S2/S8/S10 標準
● 地震監控,地震強度 ≥4 級立即停止移載
● 一般
櫃體尺寸 : 應需求規劃
儲存能力 : 應需求規劃
搬運產品 : FOSB
● 搬運
傳動方式:AC馬達
回饋方式:Sensor
● 品質
ESD:< 25V
無塵等級:符合FS209 Class 10 等級
溫度控制:22°C+/-3°C
濕度控制:7~25% RH
設備結構認證:符合SEMI規範
消防規劃:符合灑水頭安裝規範
櫃體尺寸 : 應需求規劃
儲存能力 : 應需求規劃
搬運產品 : FOSB
● 搬運
傳動方式:AC馬達
回饋方式:Sensor
● 品質
ESD:< 25V
無塵等級:符合FS209 Class 10 等級
溫度控制:22°C+/-3°C
濕度控制:7~25% RH
設備結構認證:符合SEMI規範
消防規劃:符合灑水頭安裝規範
N2 Wafer Stocker 倉儲系統

● 人車分道
● 串接AMHS系統,可即時自動盤點
● 管控氧氣與氮氣環境
● 產品與梭車同步搬運
● 符合 SEMI S2/S8/S10 標準
● 地震監控,地震強度 ≥4 級立即停止移載
● 串接AMHS系統,可即時自動盤點
● 管控氧氣與氮氣環境
● 產品與梭車同步搬運
● 符合 SEMI S2/S8/S10 標準
● 地震監控,地震強度 ≥4 級立即停止移載
● 一般
櫃體尺寸 : 應需求規劃
儲存能力 : 應需求規劃
搬運產品 : FOSB
● 搬運
傳動方式:AC馬達
回饋方式:Sensor
● 品質
ESD:< 25V
無塵等級:符合FS209 Class 10 等級
溫度控制:22°C+/-3°C
濕度控制:7~25% RH
設備結構認證:符合SEMI規範
消防規劃:符合灑水頭安裝規範
櫃體尺寸 : 應需求規劃
儲存能力 : 應需求規劃
搬運產品 : FOSB
● 搬運
傳動方式:AC馬達
回饋方式:Sensor
● 品質
ESD:< 25V
無塵等級:符合FS209 Class 10 等級
溫度控制:22°C+/-3°C
濕度控制:7~25% RH
設備結構認證:符合SEMI規範
消防規劃:符合灑水頭安裝規範
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