產品介紹
E-Rack 倉儲系統
● 移載SEMI 300/600 FOUP
● 對應最大重量80kg FOUP 移載/儲存
● N2 Purge function進行產品濕度管控
● 可搭接高空移載系統，配置 SEMI E84 需求功能
● 對應高空移載系統自動 LUL FOUP
● 對應 AGV進行自動 LUL FOUP
● 產品Q-Time 管控
● 對應最大重量80kg FOUP 移載/儲存
● N2 Purge function進行產品濕度管控
● 可搭接高空移載系統，配置 SEMI E84 需求功能
● 對應高空移載系統自動 LUL FOUP
● 對應 AGV進行自動 LUL FOUP
● 產品Q-Time 管控
● 一般
機台尺寸 : W3,456 x L5,570x H3,012mm
機台重量 : 3,000 kg
N2 Purge Stage : 2組
儲存能力：10格儲位(含N2 儲位)
● 搬運
傳動方式 : AC馬達
回饋方式 : Sensor
重複精度 : ±0.2 mm
● 品質
ESD：< 25V
無塵等級：符合FS209 Class 100 等級
設備結構認證：符合SEMI規範
機台尺寸 : W3,456 x L5,570x H3,012mm
機台重量 : 3,000 kg
N2 Purge Stage : 2組
儲存能力：10格儲位(含N2 儲位)
● 搬運
傳動方式 : AC馬達
回饋方式 : Sensor
重複精度 : ±0.2 mm
● 品質
ESD：< 25V
無塵等級：符合FS209 Class 100 等級
設備結構認證：符合SEMI規範
E-Rack 倉儲系統
● 移載SEMI 300/600 FOUP
● 對應最大重量80kg FOUP 移載/儲存
● N2 Purge function進行產品濕度管控
● 可搭接高空移載系統，配置 SEMI E84 需求功能
● 對應高空移載系統自動 LUL FOUP
● 對應 AGV進行自動 LUL FOUP
● 產品Q-Time 管控
● 對應最大重量80kg FOUP 移載/儲存
● N2 Purge function進行產品濕度管控
● 可搭接高空移載系統，配置 SEMI E84 需求功能
● 對應高空移載系統自動 LUL FOUP
● 對應 AGV進行自動 LUL FOUP
● 產品Q-Time 管控
● 一般
機台尺寸 : W3,456 x L5,570x H3,012mm
機台重量 : 3,000 kg
N2 Purge Stage : 2組
儲存能力：10格儲位(含N2 儲位)
● 搬運
傳動方式 : AC馬達
回饋方式 : Sensor
重複精度 : ±0.2 mm
● 品質
ESD：< 25V
無塵等級：符合FS209 Class 100 等級
設備結構認證：符合SEMI規範
機台尺寸 : W3,456 x L5,570x H3,012mm
機台重量 : 3,000 kg
N2 Purge Stage : 2組
儲存能力：10格儲位(含N2 儲位)
● 搬運
傳動方式 : AC馬達
回饋方式 : Sensor
重複精度 : ±0.2 mm
● 品質
ESD：< 25V
無塵等級：符合FS209 Class 100 等級
設備結構認證：符合SEMI規範
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