產品介紹
>半導體相關設備 >自動化搬運系統
E-Rack 倉儲系統
● 移載SEMI 300/600 FOUP
● 對應最大重量80kg FOUP 移載/儲存
● N2 Purge  function進行產品濕度管控
● 可搭接高空移載系統,配置 SEMI E84 需求功能
● 對應高空移載系統自動 LUL FOUP
● 對應 AGV進行自動 LUL FOUP
● 產品Q-Time 管控

 
● 一般
機台尺寸 :  W3,456 x L5,570x H3,012mm 
機台重量 : 3,000 kg 
N2  Purge Stage  :  2組
儲存能力:10格儲位(含N2 儲位)

● 搬運
傳動方式 : AC馬達
回饋方式 : Sensor
重複精度 :  ±0.2 mm

● 品質
ESD:< 25V
無塵等級:符合FS209 Class 100 等級
設備結構認證:符合SEMI規範

 
產品介紹>半導體相關設備>自動化搬運系統
E-Rack 倉儲系統
● 移載SEMI 300/600 FOUP
● 對應最大重量80kg FOUP 移載/儲存
● N2 Purge  function進行產品濕度管控
● 可搭接高空移載系統,配置 SEMI E84 需求功能
● 對應高空移載系統自動 LUL FOUP
● 對應 AGV進行自動 LUL FOUP
● 產品Q-Time 管控

 
● 一般
機台尺寸 :  W3,456 x L5,570x H3,012mm 
機台重量 : 3,000 kg 
N2  Purge Stage  :  2組
儲存能力:10格儲位(含N2 儲位)

● 搬運
傳動方式 : AC馬達
回饋方式 : Sensor
重複精度 :  ±0.2 mm

● 品質
ESD:< 25V
無塵等級:符合FS209 Class 100 等級
設備結構認證:符合SEMI規範

 
關聯產品

 

東捷科技股份有限公司 Contrel Technology Co., Ltd.

744094台南市南部科學園區南科六路9號 | 電話:06-5051188 | 傳真:06-5051198 | 24小時服務電話:0919-357073

© Contrel Technology Co., Ltd. All Rights Reserved.

東捷關係企業
Contrel Technology Co., Ltd. All Rights Reserved.
東捷關係企業