產品介紹
OHCV 自動化搬運系統
● FOUP/OPEN CST/FOSB/MAG高空移載
● 可對應AGV LUL PORT 或 MANUAL PORT自動上下料
● 地震監控，地震強度 ≥ 5級立即停止移載
● 可串接分散式STOCKER/FLATSTOCKER
● 可對應AGV LUL PORT 或 MANUAL PORT自動上下料
● 地震監控，地震強度 ≥ 5級立即停止移載
● 可串接分散式STOCKER/FLATSTOCKER
● 一般
機台尺寸：(W) 900 x (L) 1000 x (H) 210 mm
機台重量：200kg
機台負載：120 Kg
● 搬運
傳動方式： AC馬達
回饋方式： Sensor
速度：600 mm/s^2
重複精度：± 0.2 mm
定位精度：± 1 mm
● 品質
ESD : < 25V
無塵等級 : 符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證 : 符合SEMI規範
機台尺寸：(W) 900 x (L) 1000 x (H) 210 mm
機台重量：200kg
機台負載：120 Kg
● 搬運
傳動方式： AC馬達
回饋方式： Sensor
速度：600 mm/s^2
重複精度：± 0.2 mm
定位精度：± 1 mm
● 品質
ESD : < 25V
無塵等級 : 符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證 : 符合SEMI規範
OHCV 自動化搬運系統
● FOUP/OPEN CST/FOSB/MAG高空移載
● 可對應AGV LUL PORT 或 MANUAL PORT自動上下料
● 地震監控，地震強度 ≥ 5級立即停止移載
● 可串接分散式STOCKER/FLATSTOCKER
● 可對應AGV LUL PORT 或 MANUAL PORT自動上下料
● 地震監控，地震強度 ≥ 5級立即停止移載
● 可串接分散式STOCKER/FLATSTOCKER
● 一般
機台尺寸：(W) 900 x (L) 1000 x (H) 210 mm
機台重量：200kg
機台負載：120 Kg
● 搬運
傳動方式： AC馬達
回饋方式： Sensor
速度：600 mm/s^2
重複精度：± 0.2 mm
定位精度：± 1 mm
● 品質
ESD : < 25V
無塵等級 : 符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證 : 符合SEMI規範
機台尺寸：(W) 900 x (L) 1000 x (H) 210 mm
機台重量：200kg
機台負載：120 Kg
● 搬運
傳動方式： AC馬達
回饋方式： Sensor
速度：600 mm/s^2
重複精度：± 0.2 mm
定位精度：± 1 mm
● 品質
ESD : < 25V
無塵等級 : 符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證 : 符合SEMI規範
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