產品介紹
Plasma 製程自動化
● 可對應單片、單盒，四片清洗盒功能
● Boat自動轉換Mag.清洗盒功能
● 最多一次可移載4盒Mag.
● 未滿盒Mag.併批功能
● Plasma手動設備可配置自動開關門功能
● Boat自動轉換Mag.清洗盒功能
● 最多一次可移載4盒Mag.
● 未滿盒Mag.併批功能
● Plasma手動設備可配置自動開關門功能
● 一般
機台尺寸：(W) 880 x (L) 1280 x (H) 1910 mm
機台重量：380kg
機台負載：10 Kg (每次最多移載4盒)
● 搬運
傳動方式： 伺服馬達
回饋方式： Encoder
重複精度：Base軸輸送手臂: ±0.2 mm
● 品質
ESD : < 25V
無塵等級 : 符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證 : 符合SEMI規範
機台尺寸：(W) 880 x (L) 1280 x (H) 1910 mm
機台重量：380kg
機台負載：10 Kg (每次最多移載4盒)
● 搬運
傳動方式： 伺服馬達
回饋方式： Encoder
重複精度：Base軸輸送手臂: ±0.2 mm
● 品質
ESD : < 25V
無塵等級 : 符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證 : 符合SEMI規範
Plasma 製程自動化
● 可對應單片、單盒，四片清洗盒功能
● Boat自動轉換Mag.清洗盒功能
● 最多一次可移載4盒Mag.
● 未滿盒Mag.併批功能
● Plasma手動設備可配置自動開關門功能
● Boat自動轉換Mag.清洗盒功能
● 最多一次可移載4盒Mag.
● 未滿盒Mag.併批功能
● Plasma手動設備可配置自動開關門功能
● 一般
機台尺寸：(W) 880 x (L) 1280 x (H) 1910 mm
機台重量：380kg
機台負載：10 Kg (每次最多移載4盒)
● 搬運
傳動方式： 伺服馬達
回饋方式： Encoder
重複精度：Base軸輸送手臂: ±0.2 mm
● 品質
ESD : < 25V
無塵等級 : 符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證 : 符合SEMI規範
機台尺寸：(W) 880 x (L) 1280 x (H) 1910 mm
機台重量：380kg
機台負載：10 Kg (每次最多移載4盒)
● 搬運
傳動方式： 伺服馬達
回饋方式： Encoder
重複精度：Base軸輸送手臂: ±0.2 mm
● 品質
ESD : < 25V
無塵等級 : 符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證 : 符合SEMI規範
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