產品介紹
>半導體相關設備 >自動化搬運系統
Laser Marking 製程自動化
LUL PORT WIP
防撞/防拉產品安全移載功能
Boat LUL / Mag LUL同時作業功能
OHS系統高空自動 MAG LUL功能
空盒MAG製程內自動回流
地震監控,地震強度≥5級立即停止移載
一般
機台尺寸 1:(W)850 x (L) 1,650 x (H) 2,510 mm 
機台尺寸 2:(W) 2,954.5 x (L) 1,650 x (H) 2,510 mm 
機台重量 : 607 kg 
機台負載 : 10 Kg


搬運
傳動方式 : 伺服馬達、AC馬達
回饋方式 : Sensor
Lifter 重複精度: ±0.2 mm
CV 定位精度: ±1 mm


品質
ESD : < 25V
無塵等級 : 符合FS209 Class 1000 等級



 
產品介紹>半導體相關設備>自動化搬運系統
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LUL PORT WIP
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空盒MAG製程內自動回流
地震監控,地震強度≥5級立即停止移載
一般
機台尺寸 1:(W)850 x (L) 1,650 x (H) 2,510 mm 
機台尺寸 2:(W) 2,954.5 x (L) 1,650 x (H) 2,510 mm 
機台重量 : 607 kg 
機台負載 : 10 Kg


搬運
傳動方式 : 伺服馬達、AC馬達
回饋方式 : Sensor
Lifter 重複精度: ±0.2 mm
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