產品介紹
>半導體相關設備 >自動化搬運系統
Molding 製程自動化
LUL PORT WIP
防撞/防拉產品安全移載功能
Boat LUL/ Mag LUL 同時作業功能
支援AOI檢測功能
地震監控,地震強度≥5級立即停止移載
● 一般
機台尺寸 :  (W)950 x (L)1090 x (H)2600 mm 
機台重量 : 600kg
負載 : 10 Kg

● 搬運
傳動方式 :  DC無刷馬達、伺服馬達
重複精度 :  ±0.2 mm

● 品質
ESD :  < 25V
無塵等級 :  符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證 :  符合SEMI規範


 
產品介紹>半導體相關設備>自動化搬運系統
Molding 製程自動化
LUL PORT WIP
防撞/防拉產品安全移載功能
Boat LUL/ Mag LUL 同時作業功能
支援AOI檢測功能
地震監控,地震強度≥5級立即停止移載
● 一般
機台尺寸 :  (W)950 x (L)1090 x (H)2600 mm 
機台重量 : 600kg
負載 : 10 Kg

● 搬運
傳動方式 :  DC無刷馬達、伺服馬達
重複精度 :  ±0.2 mm

● 品質
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