產品介紹
>半導體相關設備 >自動化搬運系統
SMT 製程自動化
● 可串接不同廠區、不同製程之間的上下游需求
● 產品限位功能
● 撞/防拉設計,感應立即停止移載
● Boat LUL / Mag LUL同時作業功能  
● 支援OHS系統LUL功能

 
● 一般
機台尺寸:(W)1500 x (L)1800 x (H)2670 mm 
機台重量:1000kg
負載:10kg


● 搬運
傳動方式 :DC無刷馬達、伺服馬達
回饋方式:Sensor
重複經度:± 0.2 mm

● 品質
ESD < 25V
無塵等級:符合EF 209 Class 1000 等級
設備結構認證:符合SEMI規範


 
產品介紹>半導體相關設備>自動化搬運系統
SMT 製程自動化
● 可串接不同廠區、不同製程之間的上下游需求
● 產品限位功能
● 撞/防拉設計,感應立即停止移載
● Boat LUL / Mag LUL同時作業功能  
● 支援OHS系統LUL功能

 
● 一般
機台尺寸:(W)1500 x (L)1800 x (H)2670 mm 
機台重量:1000kg
負載:10kg


● 搬運
傳動方式 :DC無刷馬達、伺服馬達
回饋方式:Sensor
重複經度:± 0.2 mm

● 品質
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設備結構認證:符合SEMI規範


 
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